Substrat MgF2
Katrangan
MgF2 digunakake minangka lensa, prisma lan jendhela kanggo dawa gelombang saka 110nm kanggo 7.5μm.Iku materi sing paling cocok minangka jendhela kanggo ArF Excimer Laser, kanggo alesan transmisi apik ing 193nm.Uga efektif minangka polarisasi optik ing wilayah ultraviolet.
Properti
| Kapadhetan (g/cm3） | 3.18 |
| Titik lebur (℃) | 1255 |
| Konduktivitas termal | 0,3 Wm-1K-1 ing 300K |
| Ekspansi Termal | 13,7 x 10-6 / ℃ paralel sumbu c 8,9 x 10-6 / ℃ tegak sumbu c |
| Kekerasan Knoop | 415 kanthi indentor 100g (kg/mm2) |
| Kapasitas Panas Spesifik | 1003 J/(kg.k) |
| Konstanta dielektrik | 1,87 ing 1MHz paralel c-sumbu 1,45 ing 1MHz tegak sumbu c |
| Modulus Muda (E) | 138.5 GPa |
| Modulus Geser (G) | 54.66 GPa |
| Modulus Bulk (K) | 101.32 GPa |
| Koefisien elastis | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
| Nyoto Elastis Limit | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Rasio Poisson | 0.276 |
Definisi Substrat MgF2
Substrat MgF2 nuduhake substrat sing digawe saka bahan kristal magnesium fluoride (MgF2).MgF2 minangka senyawa anorganik sing kasusun saka unsur magnesium (Mg) lan fluor (F).
Substrat MgF2 duwe sawetara sifat penting sing nggawe populer ing macem-macem aplikasi, utamane ing bidang optik lan deposisi film tipis:
1. Transparansi dhuwur: MgF2 nduweni transparansi banget ing wilayah ultraviolet (UV), katon lan inframerah (IR) saka spektrum elektromagnetik.Nduwe jangkauan transmisi sing wiyar saka ultraviolet watara 115 nm nganti inframerah watara 7.500 nm.
2. Low indeks refraction: MgF2 wis indeks relatif kurang saka refraction, kang ndadekake materi becik kanggo AR kemul lan optik, minangka nyilikake bayangan bayangan lan mbenakake transmisi cahya.
3. Panyerepan kurang: MgF2 nuduhake panyerepan kurang ing wilayah spektral ultraviolet lan katon.Properti iki migunani ing aplikasi sing mbutuhake kejelasan optik sing dhuwur, kayata lensa, prisma, lan jendhela kanggo sinar ultraviolet utawa sing katon.
4. Stabilitas kimia: MgF2 punika kimia stabil, tahan kanggo sawetara saka sudhut bahan kimia, lan njogo sawijining optik lan fisik ing sawetara saka sudhut kahanan lingkungan.
5. Stabilitas termal: MgF2 nduweni titik leleh sing dhuwur lan bisa tahan suhu kerja sing dhuwur tanpa degradasi sing signifikan.
Substrat MgF2 umume digunakake ing lapisan optik, proses deposisi film tipis, lan jendhela utawa lensa optik ing macem-macem piranti lan sistem.Padha uga bisa dadi lapisan buffer utawa template kanggo wutah film tipis liyane, kayata bahan semikonduktor utawa lapisan metallic.
Substrat iki biasane diprodhuksi nggunakake teknik kayata deposisi uap utawa cara transportasi uap fisik, ing ngendi materi MgF2 disimpen ing materi substrat sing cocok utawa ditanam minangka kristal tunggal.Gumantung ing syarat aplikasi, substrat bisa awujud wafer, piring, utawa wangun khusus.
